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3 空气洁净度等级

3 空气洁净度等级

 3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定:

    1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3.0.1确定。

3.0.1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

    2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算:

 

式中:Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;
      N——空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;
      D——要求的粒径(μm);
      0.1——常数,其量纲为μm。
    3 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。
    4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~0.5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。
3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。
3.0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。
3.0.4 当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。

条文说明

3 空气洁净度等级

3.0.1 本规范修订过程中,涉及洁净技术的各有关单位、科技人员和专家们都强烈希望“规范应与国际接轨”,为此,本规范修订中将空气洁净度等级等效采用国际标准《洁净室及相关被控环境——第一部分,空气洁净度的分级》IS0 14644-1,在该标准中列出的空气洁净度整数等级(表3.0.1)及其关注的大于或等于要求粒径的允许浓度有争议时,可将式(3.0.1)得出的浓度Cn作为标准限值。由于空气洁净度等级的分级规定是洁净厂房设计建造必须遵循的规定,所以本条的第1款~第3款为强制性条文。
3.0.4 随着科学技术的发展,目前在一些高科技产品用洁净厂房中,不仅要求控制洁净室(区)内的微粒,还要求控制各类微生物、化学污染物,为此增加了本条规定。