附录D 洁净室(区)性能测试和认证

　　D.1 通 则

　　D.1.1 洁净室(区)应定期进行性能测试。以认证洁净室(区)始终符合本规范的要求。

　　D.1.2 洁净室(区)性能测试认证工作，应由专门检测认证单位承担，并应提交检测报告。

　　D.1.3 测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。测试仪表应在标定证书有效使用期内。

　　D.1.4 洁净室(区)的占用状态应有空态、静态、动态，其性能测试和认证宜为静态或动态。

　　附录D 洁净室(区)性能测试和认证

　　D.1 通 则

　　D.1.1 洁净室(区)应定期进行性能测试。以认证洁净室(区)始终符合本规范的要求。

　　D.1.2 洁净室(区)性能测试认证工作，应由专门检测认证单位承担，并应提交检测报告。

　　D.1.3 测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。测试仪表应在标定证书有效使用期内。

　　D.1.4 洁净室(区)的占用状态应有空态、静态、动态，其性能测试和认证宜为静态或动态。

　　D.2 洁净室(区)性能测试要求

　　D.2.1 确认洁净室(区)符合本规范要求，应进行下列基本测试：

　　1 空气洁净度等级测定;

　　2 静压差;

　　3 风速或风量。

　　D.2.2 空气洁净度等级、静压差、风速或风量的认证测试的最长时间间隔应符合表D.2.2—1和表D.2.2—2的规定。

　　注1 若洁净室(区)运行中已对粒子浓度、风速、静压差进行连续监测，且其测试值均符合本规范要求时，认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间，可与认证单位洽商。

　　2 空气洁净度等级认证，可在静态或动态检测，洽商确定，

　　3 风量测定，应采用风速计在风口或风管测定。

　　D.2.3 电子工业洁净室(区)的认证测试，除空气洁净度等级、静压差、风速或风量测试外，还应根据需要进行表D.2.3规定的洽商选择测试项目。

　　D.3 洁净室测试方法

　　D.3.1 风量或风速测试，应符合下列规定：

　　1 对于单向流洁净室，应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，并应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格，每个栅格尺寸应为600mm×600mm或末端空气过滤器尺寸，测点应在栅格中心或不应少于3点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、最大值和最小值，并应以算术平均值作为平均风速。

　　2 对于非单向流洁净室，每一点的测试时间不应少于10s。

　　3 在每个末端空气过滤器或散流器处，应采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量，每个测试位置的测点数不应少于3点。

　　D.3.2 静压差测试，应符合下列规定：

　　1 静压差的测定应在所有的门关闭时进行。

　　2 仪器宜采用各种型式的微压计，仪表灵敏度应小于1.0Pa。

　　3 洁净厂房有多个洁净室(区)时，应从最里面的房间与相邻房间的压差测试开始，并应按顺序向外进行检测。

　　D.3.3 已安装的空气过滤器泄漏测试，应符合下列规定：

　　1 仪器应使用采样量大于1 l/mm的光学粒子计数器。

　　2 应在过滤器上风侧引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子浓度应大于3.5×107P/m3的大气尘或其他气溶胶;在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20～30mm处，并应以5～20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。

　　D.3.4 洁净度的检测，应符合下列规定：

　　1 应使用采样量大于1 l/min光学粒子计数器，应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

　　2 最少采样点应按下式计算：

　　NL=A0.5 (D.3.4—1)

　　式中 NL——最少采样点;

　　A——洁净室或被控洁净区的面积(m2)。

　　采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内，并应位于工作区的高度。

　　3 每一采样点的每次采样量应按下式确定：

　　4 当洁净室(区)仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。

　　D.3.5 气流流型的检测，应符合下列规定：

　　1 气流流型的检测，宜采用气流目测法。

　　2 气流目测法有示踪线法、示踪剂注入法，并应用图像处理技术记录和处理。示踪线法所用纤维或示踪剂的微粒都不应成为洁净室(区)的一种污染源。

　　3 示踪线法应为通过观察放置在测试杆末端或气流中细钢丝格栅上的丝线或单根尼龙纤维等，直接目测得到气流方向或因干扰引起的波动。

　　4 示踪剂注入法，可采用纯水喷雾或化学法生成的乙醇/正二醇等示踪剂粒子的特性，在高强度光源下进行观察或做成图像。

　　5 应采用图像处理技术进行气流目测，本法一般是与示踪法结合，将在摄像机或膜上的粒子图像等经技术处理得到气流特性。

　　6 气流目测的测点位置、仪器等，应根据洁净室(区)的具体条件洽商确定。

　　D.3.6 温度、相对湿度的检测，应符合下列规定：

　　1 温度、相对湿度的检测应在洁净室(区)内气流分布均匀状态测试，并应在净化空调系统试运转合格后安排进行。温度、相对湿度检测应在净化空调系统已经运转，并应至少稳定运行1.0h后进行。

　　2 相对湿度检测应将洁净工作区划分为等面积网格，每格最大面积应为100m2，应每格一个测点，但每个房间不应少于2个测点。

　　3 检测用探测器应设在洁净室(区)内的工作高度，且距洁净室(区)的吊顶、墙和地面不应少于300mm。并应考量洁净室(区)内可能存在的热源的影响。

　　4 检测时间应至少1.0h，并应至少6mm进行1次(30s)读数、记录。

　　D.3.7 噪声检测，应符合下列规定：

　　1 洁净室(区)内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。

　　2 洁净室(区)内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面1.1～1.5m，距墙应大于3m;检测点的布置宜按洁净室(区)面积均分，宜每100m2设一检测点。

　　D.3.8 照度测试，应符合下列规定：

　　1 洁净室(区)内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。

　　2 照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室(区)照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。

　　3 照度检测点应设在工作高度，宜距地面0.85m，应每25m2设一个测点。

　　D.3.9 微振检测，应符合下列规定：

　　1 洁净室(区)内有微振控制要求的场所的检测，应采用符合精密设备、仪器容许振动值要求的微振测试分析系统进行分阶段测试。

　　2 微振检测点应根据洁净室(区)内需进行微振控制的精密设备、仪器的布置和微振控制设计的要求设置，一般检测点应设在微振控制相关的地面、楼面、基础面等。

　　3 微振控制的检测应由具有相应资质的单位进行。现场检测数据等应经过科学分析后，提供微振控制检测报告，应包括检测数据的分析、结论等。

　　D.3.10 自净时间检测，应符合下列规定：

　　1 自净时间的检测，宜用于非单向流洁净室。

　　2 自净时间的检测，宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准，并宜以粒子计数器进行检测，同时应符合下列要求。

　　1)以大气尘为基准时，则必须将洁净室停止运行相当时间，在室内含尘浓度已接近于大气浓度时，测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N0)。然后开机，定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次)，直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态，记录下所需的时间(t)。

　　2)以人工尘源为基准时，应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心，发烟1～2min后停止，等待1min，测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N0)。然后开机，方法同上。

　　3 由初始浓度(N0)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n)，可得到计算自净时间(t0)，与实测自净时间(t)进行对比，如果t≤1. 2t0，为合格。

　　4 自净时间检测方法除上述方法外，还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。

　　D.3.11 密闭性检测，应符合下列规定：

　　1 密闭性检测或称抑制渗漏测试，是测定洁净室(区)有无受污染的空气从周围具有相同或不相同静压的较低洁净度等级的洁净室(区)或非洁净室(区)侵入。本检测一般用于ISO 1～5级洁净室(区)。

　　2 采用粒子计数器法检测洁净室(区)的密闭性，检测时应先测量紧靠被测围护结构表面外部的悬浮粒子浓度，一般此浓度应比洁净室(区)内浓度大104，并大于等于3. 5×106个/m3待测粒径的粒子。

　　3 洁净室(区)的施工接缝，包括对墙板、吊顶的接缝和管线、灯具等的接缝的渗漏检测，应在被测部位的50～100mm处扫描，其扫描速度为50mm/s。

　　洁净室敞开门处的渗漏检测，应在距离门0.3～3.0m处测定洁净室内的悬浮粒子浓度。

　　记录并报告比测得的外部相同粒径粒子浓度大于10-3倍的读数和位置。

　　D.4 认 证

　　D.4.1 洁净厂房性能测试认证前，应由业主与认证单位签订协议书，协议书中应明确检测项目、测点位置及数量、测量要求和限值等，如测量空气悬浮粒子浓度采样点数、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值等。

　　D.4.2 按协议书规定及本附录第D.2节的要求，以及本附录第D.3节的方法进行测试，若测试结果在规定的限值之内，说明该洁净室(区)符合规定要求。若测试结果超过规定的限值，说明该洁净室(区)不符合要求，应进行改进，在完成改进工作之后，应进行再认证。

　　D.4.3 每次性能测试或再认证测试应作记录，并提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容：

　　1 测试机构的名称、地址;

　　2 测试日期和测试者签名;

　　3 执行标准的编号及标准出版日期;

　　4 被测试洁净室(区)的地址、测试项目、测点的特定编号及坐标图;

　　5 被测洁净室(区)的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室(区)所处的状态、气流流型和静压差、全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度;

　　6 测量用仪器的编号和标定证书;测试方法细则及测试中特殊情况，

　　7 测试结果包括所有测试项目的记录数据、分析结论等;

　　8 对异常测试值进行说明及数据处理;

　　9 注明上次的测试日期，

　　10 设施的测试档案可作为下次检测计划的依据。

　　D.4.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。

　　D.5 记 录

　　D.5.1 记录保存应符合质量控制程序的要求。

　　D.5.2 应按常规或定期的测试方法和仪表检测，将初始观察记录、计算、数据处理和最终报告，以及测试评价、报告人员签名和日期进行存档。